気密封止パッケージ内ガス分析装置ESCO-TDS1200II IR PKG（TDS連結型）
ESCO-TDS1200II IR PKG（TDS連結型）特徴
本装置は、ESCO-TDS1200II IR本体に接続されたIVA機能を備えています。
IVA*機能では、セラミック、金属、ガラスなどで封止された微小デバイス内部の水蒸気をはじめとする各種ガスの含有量を測定可能です。
主な対象は、化合物半導体、レーザーダイオード、水晶発振器、SAWフィルターなどの電子デバイスやランプ類です。
ガス検出部は、ESCO-TDS1200II IRと共通のユニットを使用しています。
たとえば、半導体製造のフロントエンド工程で用いられる薄膜材料はTDS機能で評価し、バックエンド工程でパッケージングされたデバイス内部のガスはIVA機能で分析する、といった一連のプロセスに対応可能です。
IVA : Internal Vapor Analysis
