−ベーキング−

断熱ジャケットの取り付け

❶質量分析計（QMS）のSEM及びフィラメントをソフトウェアにてOFFにします。

❷QMSのPowerスイッチを押してQMSの電源をOFFにします。

❸QMSコントローラへ接続されている電源ケーブルと通信ケーブルを外します。

❹六角レンチを使って取り付けネジを緩めQMSコントローラを取り外します。

❺温度センサーの取り付け状態を確認します。

❻各ビューイングポートへ保護カバーを取り付けます。

❼上部熱電対導入端子コネクタを取り外します。

❽断熱ジャケットを取り付けます。
断熱ジャケットはメインチャンバー部とサンプル移載機構部の2つがあります。
メインチャンバー部の断熱ジャケットは、装置前側より覆いかぶせるようにして装着し、後ろ側と上部のマジックテープで固定します。
後ろ側は、メインチャンバー真空計センサー（IG）やターボ分子ポンプが配置されておりクリアランスが少ないので慎重に装着してください。

ベーキングコントローラーの設定

❶ベーキング時間をベーキングタイマーで設定します。

❷ベーキングコントローラ電源ブレーカーをONにします。

❸リセットスタートスイッチを押します。
リセットスタートスイッチを押すと、ランプが点灯、ベーキング用温度調節器とベーキングタイマーへの電源の供給、オーバーヒート表示ランプのリセットが行われます。

以上の操作でベーキングが開始され温度調節器の設定温度まで加熱されます。
タイマーの設定時間に達するとヒータへの出力が遮断されます。

ベーキング用温度調節器の操作

❶温度表示切換キーを押してメインチャンバーの現在温度と設定温度の表示を切換えます。

❷設定温度を表示状態で設定キー（アップ）（ダウン）を押して設定を変更します。

❸温度表示切換キーで設定を確定し、現在温度を表示させます。

ベーキング後の処理

❶室温近くまで温度が下がるのを待ち、ベーキングコントローラ電源ブレーカ－をOFFにします。

❷断熱ジャケットを取り外し、QMSコントローラを装着して結線し各部を元へ戻します。

ロータリーポンプのオイル交換手順

❶マニュアルに従い、装置を停止します。

❷ロータリーポンプ(RP)本体が冷えている事を確認します。

❸RP固定用（4箇所）ナット、クイッククランプ、メタルコネクタ、温度ヒューズをはずし、RPを筐体から降ろします。

❹オイル注入口を開けます。

❺オイルを溢さないようにオイルドレンを処置し、ドレンを開けます。オイルが一気に出てくるので注意してください。

❻オイルが抜け切ったら、オイルドレンを閉めます。

❼オイル注入口より、規定量のオイルを入れます。

❽オイル注入口を閉め、逆手順で組み付けます。

注意事項

●使用済みオイルには、毒性の高い物質が混ざっている可能性があるので、交換時には保護めがね・耐油耐薬品の手袋を着用してください。
●RPを降ろした時にオイルが周りに散乱しないように、床には保護シートを敷いてください。
●RPの停止直後は、オイルが熱い可能性があり、火傷する恐れがあります。
●オイルの廃棄は、適切な処分を行ってください。
●弊社支給のオイルもしくは、メーカー純正オイル以外は絶対に使用しないでください。
●重量物なので、落下に注意し作業を行ってください。
●交換に熟知した方が交換作業を行ってください。