技術資料／昇温脱離分析／分析法について

分析法について

昇温脱離法
昇温脱離法の解析に使用される脱離モデルや活性化エネルギーの求め方についての参考資料です。

※PDFファイルが開きます。

表題	⇒目次 (pdf/159KB)
第1章	⇒はじめに、記号表 (pdf/225KB)
第2章	⇒昇温脱離分析における脱離速度と分圧の関係 (pdf/288KB)
第3章	⇒表面反応における脱離速度の算出 (pdf/635KB)
第4章	⇒脱離反応の活性化エネルギの算出法 (pdf/1105KB)
第5章	⇒薄膜からの脱離速度の算出 (pdf/1582KB)
第6章	⇒昇温脱離信号のシミュレーション (pdf/1219KB)
参考文献	⇒参考文献 (pdf/174KB)

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