−装置の起動方法−

装置起動

❶事前確認をします。
・漏電ブレーカーがOFFになっている。
・圧縮空気が供給されている。(0.01～0.02 MPa)
・RP1スイッチがOFFになっている。

❷装置背面にあるブレーカーをONにします。

❸装置正面のパネルにあるRESETスイッチを押します。

メインチャンバー排気系の起動

❶事前確認をします。
・メインチャンバーが閉じ、機器が正しく取付けられている。
・メインチャンバーベントバルブが閉じている。
・AUTO / MANUALスイッチがMANUALになっている。
・MV、VV、RV、GVスイッチがCLOSEになっている。
・RP1スイッチがOFFになっている。
・RP1ベントバルブが閉じている。
・ベント用窒素ガスとバルブ駆動用圧縮空気が供給されている。（0.01～0.02 MPa）
・メインチャンバーが大気圧以上になっている。

❷RP1のONスイッチを押して、RP1を起動します。

❸BV1のOPENスイッチを押してメインチャンバーを粗引きします。
排気音が小さくなるまで待ちます。（約1分）

❹TMP1コントローラのSTARTスイッチを押して、TMP1を起動します。
TMP1が正常運転になるまで待ちます。（約10分）

❺真空計のONスイッチを押して電源を入れ、IG1スイッチを押してフィラメントを点灯させます。

❻窒素パージバルブを開き、パージ用窒素をTMP1に供給します。

❼メインチャンバーの圧力が1E-5 Pa未満になるまで待ち、質量分析計の電源を入れます。

ロードロックチャンバー排気系の起動

❶事前確認をします。
・試料導入口が閉じ、機器が正しく取付けられている。
・AUTO / MANUALスイッチがMANUALになっている。
・MV、VV、RV、GVスイッチがCLOSEになっている。
・RP2スイッチがOFFになっている。
・窒素ガス（ベント使用ガス）と圧縮空気（バルブ駆動用）が供給されている。
・RP2ベントバルブ及びTMP2ベントバルブが閉じられている。

❷RP2のONスイッチを押して、RP2を起動しTMP2のバック側の排気を開始します。
排気音が小さくなるまで待ちます。
※自動的にBV2が開き、TMP2コントローラへ電源が供給されます。

❸TMP2コントローラのSTARTスイッチを押して、TMP2を起動します。
正常運転になるまで待ちます。（約10分）

❹RVスイッチをOPENにして、粗引きを開始します。
ロードロックの粗引きが完了するまで待ちます。（約5分）

❺RVスイッチをCLOSEにして、RVを閉じます。

❻MVスイッチをOPENにして、メインバルブを開き、TMP2による排気を開始します。

備考
RP1：ロータリーポンプ1
BV1：バックバルブ1
TMP1：ターボ分子ポンプ1
RP2：ロータリーポンプ2
BV2：バックバルブ2
TMP2：ターボ分子ポンプ2
RV：ロータリーポンプ
MV：メインバルブ

プッシュスイッチ（凹、点灯）やトグルスイッチ（上）は、ONやOPENを意味します。
プッシュスイッチ（凸、消灯）やトグルスイッチ（下）は、OFFやCLOSEを意味します。

−装置の停止方法−

メインチャンバー排気系の停止

❶質量分析計のフィラメント及びSEMをTDS測定ソフトまたはフィラメントマネージャでOFFにした後、電源スイッチをOFFにします。

❷真空計のIG1をOFFにし、電源を切ります。

❸TMP1のコントローラのSTOPスイッチを押して、TMP1を停止します。

❹BV1のCLOSEスイッチを押してバックバルブを閉めます。

❺TMP1が停止するまで30分ほど待ちます。
ビューポートから羽の停止を確認してください。

❻RP1のOFFスイッチを押して、RP1を停止させます。

❼RP1のベントバルブを開き、RP1の吸気側を窒素ベントします。
流量計フロートが下がったら、RP1のベントバルブを閉じます。

メインチャンバーの大気開放

❶標準ガス・窒素　切替バルブ（黒いツマミ）の尖部を下側（窒素ライン側）に向けます。

❷メインチャンバーベントバルブを開き、窒素ベントします。
窒素ガスがメインチャンバー内へ流入すると窒素ガス流量計のフロートが動きます。

❸窒素ガス流量計のフロートが下がったら、メインチャンバーベントバルブを閉じます。

❹窒素パージバルブを閉じて、TMP1へのパージ用窒素の供給を止めます。

メインチャンバー排気系の停止

❶AUTO/MANUALスイッチをMANUALにします。

❷MVスイッチをOPENにして、メインバルブを開き、TMP2による排気を開始します。

❸VVスイッチをOPENにして、ロックチャンバーを窒素ベントします。
窒素ガスがロードロックチャンバー内へ流入すると窒素ガス流量計のフロートが動きます。

❹VVスイッチをCLOSEにして、VVを閉じます。

❺TMP2コントローラのSTOPスイッチを押して、TMP2が停止するまで10分間ほど待ちます。

❻RP2のOFF スイッチを押して、RP2を停止させます。
自動的にTMP2のコントローラへの電源供給がOFFとなり、液晶画面にwarningが表示されます。
※ターボ分子ポンプコントローラの液晶画面は、電源供給をOFFにしても回転停止後10分程度は表示を続けます。

❼RP2ベントバルブを開き、RP2の吸気側を窒素ベントします。
窒素ガス流量計のフロートが下がったらRP2ベントバルブを閉じます。

装置停止

❶装置背面にあるブレーカーをOFFにします。

備考

RP1：ロータリーポンプ1
BV1：バックバルブ1
TMP1：ターボ分子ポンプ1
RP2：ロータリーポンプ2
BV2：バックバルブ2
TMP2：ターボ分子ポンプ2
RV：ロータリーポンプ
MV：メインバルブ

プッシュスイッチ（凹、点灯）やトグルスイッチ（上）は、ONやOPENを意味します。
プッシュスイッチ（凸、消灯）やトグルスイッチ（下）は、OFFやCLOSEを意味します。