オーバーホール
装置を導入いただいたユーザー様に対して、メンテナンスやオーバーホールのご用命を承ります。
下記項目をご参照ください。
No.001 事前調査
| 実施時期 | 毎年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 4.0H |
| 使用・交換部品 | チェック用サンプル一式 |
| 備考 | 装置の現状チェックを行います。 |
No.002 赤外線ランプ交換
| 実施時期 | 毎年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 0.5H |
| 使用・交換部品 | 赤外線ランプ［1］ |
| 備考 | 装置仕様により使用部品が異なります。 |
No.003 フォアライントラップエレメント交換
| 実施時期 | 毎年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 0.5H |
| 使用・交換部品 | エレメント：20-H026-00-050［1缶］ |
| 備考 | 装置仕様により使用部品が異なります。 |
No.004 ロータリーポンプオイル交換
| 実施時期 | 6ヶ月毎 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 2.0H |
| 使用・交換部品 | ロータリーポンプオイル |
| 備考 | 装置仕様・メーカーにより使用部品が異なります。 |
No.005 加熱試料台交換
| 実施時期 | 毎年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 2.0H |
| 使用・交換部品 | 石英ステージ、熱電対、ICFガスケット |
| 備考 | 装置仕様により使用部品が異なります。 |
No.006 加熱チャンバー内の清掃
| 実施時期 | 毎年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 0.5H |
| 使用・交換部品 | ICFガスケット |
No.007 ロードロックチャンバー内の清掃
| 実施時期 | 2年毎 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 3.0H |
| 使用・交換部品 | ICFガスケット |
No.008 試料移載機構板バネ交換
| 実施時期 | 2年毎 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 1.0H |
| 使用・交換部品 | 板バネ、ガスケット |
No.009 赤外導入機構部研磨
| 実施時期 | 2年毎（機構部汚染状況による） |
|---|---|
| 標準作業時間 | 1.0H |
| 使用・交換部品 | ガスケット |
No.010 TMP（2）ベアリング交換
| 実施時期 | 3年毎 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 3.0H |
| 使用・交換部品 | ベアリング、ガスケット |
| 備考 | 装置仕様により使用部品が異なります。 |
No.011 オイルミストフィルタ交換
| 実施時期 | 4年毎（汚染状況による） |
|---|---|
| 標準作業時間 | 0.5H |
| 使用・交換部品 | フィルタ |
No.012 ゲートバルブ交換
| 実施時期 | 4年毎 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 4.0H |
| 使用・交換部品 | ゲートバルブ、ガスケット |
| 備考 | 装置使用頻度に依存します。 |
No.013 ロータリーポンプ交換
| 実施時期 | 5年毎 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 2.0H |
| 使用・交換部品 | ロータリーポンプ、防振ゴム |
No.014 QMS分解能・質量軸調整
| 実施時期 | 毎年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 2.0H |
| 使用・交換部品 | 調整用標準ガス |
No.015 QMSイオン源交換
| 実施時期 | 2年毎（汚染状況による） |
|---|---|
| 標準作業時間 | 2.0H |
| 使用・交換部品 | イオン源、ガスケット |
No.016 真空立ち上げ・ベーキングセット
| 実施時期 | 毎年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 2.0H |
No.017 オーバーホール後の性能確認
| 実施時期 | 毎年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 5.0H |
| 使用・交換部品 | チェック用サンプル一式 |
| 備考 | メンテナンスをする際は、必ず実施します。 |
No.018 QMS検量線用測定
| 実施時期 | 毎月 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 1.0H |
| 使用・交換部品 | イオン注入ウェハー |
| 備考 | ベーキング1日以上実施後に行います。 |
No.019 QMS特性補正用測定
| 実施時期 | 毎年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 3.0H |
| 使用・交換部品 | イオン注入ウェハー（各種） |
| 備考 | ベーキング1日以上実施後に行います。 |
お問い合わせ
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