TDS1200및EMD-WA1000S/W의 기동과 정지
장치 기동 방법
●장치 기동
1. 사전 확인을 합니다.
・누전 차단기가 OFF로 되어 있다.
・압축공기가 공급되고 있다. (0.01~0.02 MPa)
・RP1 스위치가 OFF로 되어 있다.
2. 장치 후면의 차단기를 ON합니다.
3. 장치 전면 패널의 RESET 스위치를 누릅니다.
● 메인 챔버 배기계의 기동
1. 사전 확인을 합니다.
・메인챔버가 닫히고 장비가 올바르게 설치되어 있다
・메인챔버 벤트밸브가 닫혀있다
・AUTO/MANUAL 스위치가 MANUAL로 되어 있다
・MV, VV, RV, GV 스위치가 CLOSE로 되어 있다.
・RP1 스위치가 OFF로 되어 있다.
・RP1 벤트 밸브가 닫혀 있다
・벤트용 질소 가스와 밸브 구동용 압축 공기가 공급되고 있다. (0.01~0.02 MPa)
・메인 챔버가 대기압 이상으로 되어 있다.
2. RP1의 ON 스위치를 눌러 RP1을 기동합니다.
3. BV1의 OPEN 스위치를 눌러 메인챔버를 초기배기 시킵니다
배기음이 작아질 때까지 기다립니다. (약 1분)
4. TMP1 컨트롤러의 START 스위치를 눌러 TMP1을 기동합니다.
TMP1이 정상 작동이 될 때까지 기다립니다. (약 10분)
5. 진공계의 ON 스위치를 눌러 전원을 켜고 IG1 스위치를 눌러 필라멘트를 점등시킵니다.
6. 질소 퍼지 밸브를 열고 퍼지용 질소를 TMP1에 공급합니다.
7. 메인 챔버의 압력이 1E-5 Pa 미만이 될 때까지 기다린 다음 질량 분광계를 켭니다.
●로드록 챔버 배기계의 기동
1. 사전 확인을 합니다.
・시료 도입구가 닫히고 기기가 올바르게 설치되어 있다.
・AUTO/MANUAL 스위치가 MANUAL로 되어 있습니다.
・MV, VV, RV, GV 스위치가 CLOSE로 되어 있다.
・RP2 스위치가 OFF로 되어 있다.
・질소 가스(벤트 사용 가스)와 압축 공기(밸브 구동용)가 공급되고 있다.
・RP2 벤트 밸브 및 TMP2 벤트 밸브가 닫혀 있다
2. RP2의 ON 스위치를 눌러 RP2를 기동하여 TMP2의 후면 측 배기를 시작합니다.
배기음이 작아질 때까지 기다립니다.
※자동적으로 BV2가 열리고 TMP2 컨트롤러에 전원이 공급됩니다.
3. TMP2 컨트롤러의 START 스위치를 눌러 TMP2를 기동합니다.
정상 운전이 될 때까지 기다립니다. (약 10분)
4. RV 스위치를 OPEN으로 설정하여 초기배기를 시작합니다.
로드록의 초기배기가 완료될 때까지 기다립니다. (약 5분)
5. RV 스위치를 CLOSE로 설정하고 RV를 닫습니다.
6. MV 스위치를 OPEN으로 하여 메인 밸브를 열고 TMP2에 의한 배기를 시작합니다.
●비고
RP1: 로터리 펌프 1
BV1: 백 밸브 1
TMP1: 터보 분자 펌프 1
RP2: 로터리 펌프 2
BV2: 백 밸브 2
TMP2: 터보 분자 펌프 2
RV: 로터리 펌프
MV: 메인 밸브
푸시 스위치(오목, 점등) 및 토글 스위치(위)는 ON 또는 OPEN을 의미합니다.
푸시 스위치(볼록, 꺼짐) 및 토글 스위치(아래)는 OFF 또는 CLOSE를 의미합니다.
장치 정지 방법
● 메인 챔버 배기계의 정지
1. 질량 분석계의 필라멘트 및 SEM을 TDS 측정 소프트웨어 또는 필라멘트 매니저로 OFF로 한 후 전원 스위치를 OFF합니다.
2. 진공계의 IG1을 OFF로 하고 전원을 끕니다.
3. TMP1 컨트롤러의 STOP 스위치를 눌러 TMP1을 정지합니다.
4. BV1의 CLOSE 스위치를 눌러 백 밸브를 닫습니다.
5. TMP1이 정지할 때까지 30분 정도 기다립니다.
뷰포트에서 팬 정지를 확인해 주십시요.
6. RP1의 OFF 스위치를 눌러 RP1을 정지시킵니다.
7. RP1의 벤트 밸브를 열고 RP1의 흡입측을 질소를 벤트합니다.
유량계 플로트가 떨어지면 RP1의 벤트 밸브를 닫습니다.
●● 메인 챔버의 대기 개방
1. 표준 가스·질소 전환 밸브(검은 노브)의 튀어나온 부분을 하측(질소 라인측)으로 향합니다.
2. 메인 챔버 벤트 밸브를 열고 질소를 벤트합니다.
질소 가스가 메인 챔버로 유입되면 질소 가스 유량계의 플로트가 움직입니다.
3. 질소 가스 유량계의 플로트가 떨어지면 메인 챔버 벤트 밸브를 닫습니다.
4. 질소 퍼지 밸브를 닫고 TMP1로의 퍼지용 질소 공급을 중지합니다.
●로드록 챔버 배기계의 정지
1. AUTO/MANUAL 스위치를 MANUAL로 설정합니다.
2. MV 스위치를 CLOSE로 설정하고 MV를 닫습니다.
3. VV 스위치를 OPEN으로 설정하고 잠금 챔버를 질소 벤트합니다.
질소 가스가 로드록 챔버로 유입되면 질소 가스 유량계의 플로트가 움직입니다.
4. VV 스위치를 CLOSE로 설정하고 VV를 닫습니다.
5. TMP2 컨트롤러의 STOP 스위치를 눌러 TMP2가 정지할 때까지 10분 정도 기다립니다.
6. RP2의 OFF 스위치를 눌러 RP2를 정지합니다.
자동으로 TMP2의 컨트롤러에 전원 공급이 꺼지고 LCD 화면에 경고가 표시됩니다.
※터보 분자 펌프 컨트롤러의 액정 화면은 전원 공급을 OFF로 해도 회전 정지 후 10분 정도는 표시를 계속합니다.
7. RP2 벤트 밸브를 열고 RP2의 흡입측을 질소 벤트합니다.
질소 가스 유량계의 플로트가 떨어지면 RP2 벤트 밸브를 닫습니
●장치 정지
1. 장치 후면의 차단기를 OFF합니다。
●비고
RP1: 로터리 펌프 1
BV1: 백 밸브 1
TMP1: 터보 분자 펌프 1
RP2: 로터리 펌프 2
BV2: 백 밸브 2
TMP2: 터보 분자 펌프 2
RV: 로터리 펌프
MV: 메인 밸브
푸시 스위치(오목, 점등) 및 토글 스위치(위)는 ON 또는 OPEN을 의미합니다.
푸시 스위치(볼록, 꺼짐) 및 토글 스위치(아래)는 OFF 또는 CLOSE를 의미합니다.