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광여기이탈분석장치

광여기 이탈분석장치의 특징

광여기 이탈 분석 장치(PSD)는 진공 자외선(120~400 nm)을 시료에 조사하고, 그 최표면으로부터 이탈하는 분자를 질량 분석계로 관측하는 분석 장치입니다.


조사 파장을 스윕함으로써, 파장별로 이탈 성분의 차이를 알 수 있고, 시료 표면의 오염물, 시료 최표면의 구조, 시료의 진공 자외선에 의한 영향 등의 해석에 이용할 수 있습니다.

 

또, 열지원 기능을 이용하면, 지정된 온도에서의 광여기 이탈 현상을 관찰할 수 있어 반도체·디스플레이·태양 전지 등에서 사용되는 열·광 프로세스의 설계에 도움이 됩니다.

赤光励起脱離分析装置

로드록 챔버 장비

당사 분석 장치의 종류에 예외없이 측정의 효율화와 고진공 환경을 유지하기 위한 로드록 챔버를 갖추고 있습니다.

진공 자외선 광원

아르곤 가스속에서 Nd3+ : YAG 레이저로 만들어진 레이저여기 플라즈마는 진공자외선에서 가시까지 넓은 파장의 광을 생성합니다. 회절 격자로 분광한 단색 집광을 시료에 조사함으로써 조사 파장별로 이탈을 일으킵니다. 파장의 스윕은 장파장에서 단파장, 단파장에서 장파장 모두 설정 가능합니다.

열 지원형

진공 자외선 조사에 의한 광여기 이탈은 온도를 올림으로써 촉진됩니다. 당사 TDS의 기술을 응용하여 시료를 일정 온도로 유지한 후 진공 자외선 조사를 실시할 수 있습니다.

광 이탈 분석 장치의 구성

광이탈분석장치는 진공자외선을 발생하는 진공자외광원부와 시료에서 이탈한 성분을 검출하는 측정부로 이루어져 있습니다.

 

 

VUV光源部
광이탈분석장치의 구성도

진공 자외선 광원

아르곤 가스로 채워진 광원 챔버에 Nd3+:YAG 레이저를 도입하면 아르곤 가스가 여기되어 플라즈마가 발생합니다. 이 레이저여기 플라즈마는 진공 자외선에서 가시영역에 이르는 넓은 파장의 광을 방출합니다. 회절 격자로 분광한 단색광을 시료에 조사함으로써, 조사 파장별로 이탈을 관측합니다. 사용 가능한 파장은 탑재한 회절 격자에 의해 결정됩니다만, 본 장치에서는 120~400nm를 표준으로 하고 있습니다.

로드록 챔버

로드록 챔버는 측정의 고효율화(고처리량) 및 고감도화에 필수적입니다. 당사의 로드록 챔버와 샘플 반송 기구는, 샘플만을 신속하게 초고진공의 분석 챔버에 도입할 수 있습니다. 로드록 챔버가 없으면 시료 교환 시마다 분석 챔버를 대기 개방할 필요가 있지만, 일단 대기 개방하면 분석 챔버 내에 다량의 대기 성분(특히 수분)이 흡착되어 충분히 배기될 때까지 시간이 오래 걸립니다.

분석 챔버

진공 자외선 조사에 의한 광여기 이탈은 온도를 올림으로써 촉진됩니다. 당사 TDS의 기술을 응용하여 시료를 일정 온도로 유지한 후 진공 자외선 조사를 실시할 수 있습니다.

분석 챔버는 승온 이탈 분석 장치와 동등한 구성입니다. 고온 영역에서도 백그라운드 레벨의 상승이 최소한으로 억제된 상태에서 시료를 가열할 수 있습니다. 진공 자외 광원부의 분광 챔버와 측정부의 분석 챔버가 MgF2의 창부착 플랜지로 나누어 연결되어 있습니다.2의 창부착 플랜지로 나누어 연결되어 있습니다.

 

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