TDS1200Ⅱ의 기동과 정지
장치 본체 기동
1. 전원 차단기를 ON
장치 후면 하단 패널의 전원 차단기를 켭니다.
2. 스타트업
터치 패널의 "Start Up" 버튼을 누릅니다.
각종 센서의 반응 대기가 10초간 이루어진 후 이상이 없으면 「기동・정지」페이지로 전환됩니다.
3. 기동
터치 패널의 '시작' 버튼을 3초간 누릅니다.
장치 내부의 PLC(Programmable Logic Controller)는 기동 시퀀스를 시작하여 각 진공 펌프와 각 밸브가 자동 제어로 작동합니다.
메인챔버의 메시지가 「통상 운전」이 되면, 메인 챔버의 기동이 완료됩니다.
로드록 메시지가 "정상 운전"이 되면 로드록 챔버의 기동이 완료됩니다.
| 주의 | 기동조작을 하기 전에 전원・질소가스・압축공기의 공급을 확인해 주십시오 |
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장치 본체 정지
1. QMS 필라멘트를 OFF
TDS 측정 소프트웨어 또는 필라멘트 관리자에서 QMS 필라멘트를 OFF, SEM을 OFF합니다.
2. 정지
터치 패널의 기동・정지 탭의 「정지」버튼을 3초간 누릅니다.
장치 내부의 PLC(Programmable Logic Controller)는 정지 시퀀스를 시작하여 각 진공 펌프와 각 밸브를 자동으로 제어합니다.
메인챔버의 메시지가 '정지'가 되면 메인 챔버의 정지가 완료됩니다.
로드록 메시지가 "중지"가 되면 로드록 챔버 정지가 완료됩니다.
| NOTE | TMP1의 완전 정지에는 20분 이상이 소요됩니다. |
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| 정지 시퀀스가 시작되면 QMS의 전원이 꺼집니다. |
3. 전원 차단기를 OFF
장치의 전원을 차단할 경우 뒷면 패널의 전원 차단기를 OFF합니다.
전원 차단기가 OFF되면 터치 패널과 PLC의 전원도 차단됩니다.