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승온이탈분석

트러블 대처

로드록 챔버의 진공도가 올라가지 않습니다.

시료 교환창을 손으로 눌러 진공도가 변화하면 시료 교환창의 오링에 쓰레기가 부착되어 있을 가능성이 있습니다.
오링의 쓰레기를 제거해 주십시오.
샘플로부터의 이탈이 많은 경우도 진공도가 오르지 않습니다.

로드록의 진공계가 표시가 안됩니다

로드록 챔버 내의 N2량이 적고, 진공계의 방전이 일어나기 어려운 상태가 되어 있습니다.
다음 수순으로 실행해 주십시요

 

1. [AUTO/MANU] 전환 스위치를 MANU로 합니다.
2. [MV] 스위치를 CLOSE로 합니다.
3. [VV] 스위치를 OPEN으로 하고 5초 후에 CLOSE로 합니다.
4. [RV] 스위치를 OPEN으로 합니다.
5. 피라니 진공 스위치 뒷면의 적색 LED가 켜지면 [RV] 스위치를 CLOSE로 합니다.
6. 페닝 진공계 컨트롤러의 [HV] 스위치를 누릅니다.
7.진공 표시가 나오면 [MV]를 OPEN으로 합니다.
8.[AUTO RESET] 스위치를 눌러 [AUTO/MANU] 스위치를 AUTO로 합니다.

 

나머지는 통상적인 시작 수순으로 실행해 주십시요

AUTO램프가 점등이 안됩니다

다음 수순으로 실행합니다.

 

1. [AUTO/MANU] 전환 스위치를 MANU로 합니다.
2. [MV] 스위치를 CLOSE로 합니다.
3. [RV] 스위치를 OPEN으로 합니다.
4. 피라니 진공 스위치 뒷면의 적색 LED가 켜지면 [RV] 스위치를 CLOSE로 합니다.
5. [RV] 스위치를 CLOSE로 합니다.
6. 진공 표시가 나오면 [MV]를 OPEN으로 합니다
7. [AUTO RESET] 스위치를 눌러 [AUTO/MANU] 스위치를 AUTO로 합니다.

 

나머지는 통상적인 수순으로 사용해 주십시요

MV램프가 점등이 안됩니다

다음 수순으로 실행합니다.

 

1. [AUTO/MANU] 전환 스위치를 MANU로 한다.
2. [MV] 스위치를 CLOSE로 합니다.
3. [RV] 스위치를 OPEN으로 합니다.
4. 피라니 진공 스위치 뒷면의 적색 LED가 켜지면 [RV] 스위치를 CLOSE로 합니다.
5. [RV] 스위치를 CLOSE로 합니다.
6. 진공 표시가 나오면 [MV]를 OPEN으로 합니다
7. [AUTO RESET] 스위치를 눌러 [AUTO/MANU] 스위치를 AUTO로 합니다.

 

나머지는 통상적인 수순으로 사용해 주십시요.

TDS의 메인 챔버에 샘플이 낙하했습니다

・아웃 가스가 없는 샘플(예를 들면 고온까지 승온한 샘플 등)이면, 오버홀시에 주워 주세요. 측정에는 영향이 없습니다.
・샘플 추락 후 진공상태가 나쁘고, 스테이지 베이킹시에 이상 신호가 나오는 경우는, 바로 추락 샘플을 제거해 주세요

TDS의 메인 챔버의 진공도가 올라가지 않습니다

진공계의 청소를 위해서 데가스(Degas)를 30초 정도 실시해 주세요.
복구되지 않으면 챔버를 베이킹하거나 청소할 필요가 있습니다

분체 샘플이 Purge할 때 비산했습니다

・로드 록 챔버의 분해 청소가 필요합니다. 방치해 두면 분체가 밸브류에 부착되어 누설의 원인이 될 가능성이 있습니다.
・WA1000S, WA1000S/W에는 분체 샘플용의 퍼지 라인을 증설할 수 있습니다.
혹은 퍼지 라인을 퍼지 밸브→니들 밸브의 순서로 접속하고, 니들 밸브로 퍼지 유량을 줄이는 것으로 비산시키지 않고 퍼지할 수 있습니다

적외선 콘트롤러릐 전원이 들어가지 않습니다

・냉각수의 수압 혹은, 유량이 부족한 가능성이 있으므로 확인해 주세요.
・퓨즈가 끊어져 있을 가능성이 있습니다. 이 경우 퓨즈(15A)와 적외선 램프를 교체해야 합니다

도달 진공도가 좋은데 진공은 불량입니다

로터리 펌프의 성능이 저하되었을 가능성이 있습니다.
오일 교환 등을 실시해 주십시오.
오일 교환은 1년에 한번 기준입니다만, 이탈가스의 종류나 양에 따라서는 빨리 열화하는 경우도 있습니다

장치를 정지했습니다만 베이킹을 하는 편이 좋을까요 ?

12시간 이상의 베이킹을 권장합니다.
베이킹 시에는 Q-Mass를 OFF(전원 끄기)로 하므로, 베이킹 후에 Q-Mass의 필라멘트를 점등시킨 후는 3시간 이상 지나고 나서 측정을 실시해 주십시오.

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