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오버홀

오버홀

장치를 도입해 주신 고객님에 대해서, 유지보수나 오버홀 서비스를 합니다
아래 항목을 참조하십시오.

No.001 사전검사

실시시기 매년 
표준작업시간 4.0H
사용・교환부품 확인용 샘플 1세트
비고 장치의 현상을 확인합니다

No.002 적외선램프 교환

실시시기 매년 
표준작업시기 0.5H
사용・교환부품 적외선램프[1]
비고 장치사양에 따라 사용부품이 다릅니다

No.003 포워라인 트랩엘리먼트 교환

실시시기 매년 
표준작업시간 0.5H
사용・교환부품 엘리먼트:20-H026-00-050[1캔]
비고 장치사양에 따라 사용부품이 다릅니다

No.004 로타리펌프 오일교환

실시시기 6개월마다 
표준작업시간 2.0H
사용・교환부품 로타리펌프 오일
비고 장치사양・메이커에 따라 사용부품이 다릅니다

No.005 가열 시료대 교환

실시시기 매년 
표준작업시기 2.0H
사용・교환부품 석영스테이지、열전대、ICF가스켓
비고 장치사양에 따라 사용부품이 다릅니다

No.006 가열챔버내의 청소

실시시기 매년 
표준작업시간 0.5H
사용・교환부품 ICF가스켓

No.007 로드록 챔버내의 청소

실시시기 2년마다 
표준작업시간 3.0H
사용・교환부품 ICF가스켓

No.008 시료 이재기구판 스프링교환

실시시기 2년마다 
표준작업시간 1.0H
사용・교환부품 판스프링、가스켓

No.009 적외 도입기구부 연마

실시시기 2년마다(기구부 오염상황에 의함) 
표준작업시간 1.0H
사용・교환부품 가스켓

No.010 TMP(2)베어링 교환

실시시기 3년마다 
표준작업시기 3.0H
사용・교환부품 베어링、가스켓
비고 장치사양에 따라 사용부품이 다릅니다

No.011 오일 미스트 필터 교환

실시시기 4년마다(오염상황에 따름) 
표준작업시간 0.5H
사용・교환부품 필터

No.012 게이트 밸브 교환

실시시기 4년마다 
표준작업시간 4.0H
사용・교환부품 게이트밸브、가스켓
비고 장치사용 빈도에 의존합니다

No.013 로타리 펌프 교환

실시시기 5년마다  
표준작업시간 2.0H
사용・교환부품 로타리펌프、방진고무

No.014 QMS분해능・질량축조정

실시시기 매년 
표준작업시간 2.0H
사용・교환부품 조정용 표준가스

No.015 QMS이온원 교환

실시시기 2년마다(오염상황에 의함) 
표준작업시간 2.0H
사용・교환부품 이온원、가스켓

No.016 진공개시・베이킹 세트

실시시기 매년 
표준작업시기 2.0H

No.017 오버홀한 후의 성능확인

실시시기 매년 
표준작업시간 5.0H
사용・교환부품 확인용 샘플 1세트
비고 유지보수할 때、반드시 실시합니다

No.018 QMS검량선용 측정

실시시기 매월
표준작업시간 1.0H
사용・교환부품 이온주입 웨이퍼
비고 베이킹 1일이상 실시후에 측정

No.019 QMS특성보정용 측정

실시시기 매년  
표준작업시간 3.0H
사용・교환부품 이온주입 웨이퍼(각종)
비고 베이킹 1일이상 실시후에 측정
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