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~1991

1991:논문, 잡지, 책

1.Oxidation Process of Hydrogen Terminated Silicon Surface Studied by Thermal Desorption Spectroscopy

  • Norikuni Yabumoto, Kazuyuki Saito, Mizuho Morita* and Tadahiro Ohmi*
  • NTT LSI Laboratories, *Faculty of Engineering,Tohoku University
  • Jpn.J.Appl.Phys.,30,L419(1991)

2. 새로운 승온이탈가스 분석장치 개발과 VLSI재료및 프로세스평가의 응용

  • 히라시타 노리오, 미오카 츠네오, 히나가 야스시*
  • 오키전기공업(주) 초LSI개발센터 *전자과학(주)
  • 진공,34,813(1991)

~ 1991:학회요지

1.세정실리콘 표면의 물성과 그 해석

  • 야부모토 슈호, 사이토 가즈유끼, 모리타 미즈호*, 오마 타다히로
  • NTT LSI연구, * 도호쿠대학 공학부
  • 1991 전자정보통신학회 춘곕전국대회요지집,5-331,(1991):SC-9-1

발표년도 불명:논문, 잡지, 책

1.APIMS를 이용한 승온이탈가스분석

  • 미조카미 가즈노리, 나카노 가즈오, 고이케죠지, 오가와데츠야
  • 히다치토레이 전자장치사업부
  • 히다치토레이 TECHNICAL REPORT,11,10(????)

2. 승온이탈가스분석법(TDS)의 응용

  • 토레이 리서치센터
  • 토레이 리서치센터
  • 기술정보

3.Improved Interconnect Yield Through Surface Control By Silylation (SCS) Method

  • K.Yano, M.Yamanaka, Y.Terai, T.Sugiyama, M.Kubota, M.Endo and N.Nomura
  • Semiconductor Research Center, Matsushita Electric Industrial Co.,Ltd.
  • Symposium 1993 on VLSI Technology

4.전계동박에의 극박주석멕키의 확산거동

  • 야마시타 마사루, 오오쿠마 히데오*
  • (주)아이테스 신뢰성・재료기술부, 일본IBM(주) 노슈사업부 액정기술부株
  • 출전불명

5.사르퍼의 퇴적을 이용한 이방성 에칭

  • 가토무라 신고, 다츠미 데츠야, 나가야마 데츠지, 사토우 준이치
  • 소니(주)
  • Semiconductor World 12:1993년1월

6.승온열이탈분석장치에 의한 Si웨이퍼표면의 유기물평가

  • 오카다 치즈코, 류타 지로, 신교지 다깡유키
  • 미쯔비시 머티어리얼(주) 중앙연구소
  • 출전불명

7.MODEL STUDIES OF DIELECTRIC THIN FILM GROWTH CVD DEPOSITION OF SiO2 FROM TEOS

  • J.E.Crowell, H-C.Cho, F.M.Cascarano, L.L.Tedder and M.A.Logan*
  • Department of Chemistry, University of California, San diego, *Lam Reserch Corporation, Advanced Research Center
  • 출전불명

8.Evaluation of adsorbed molecules on silicon wafers

  • Norikuni YABUMOTO
  • NTT Interdisciplinary Research Laboratories
  • 출전불명

9.TDS를 이용한 O2+H2O다운플로어 코로젼 억제기구의 검토

  • 고지리 히데히로, 마츠오 지로*, 와타나베 고지, 나까무라 모리타카
  • 후지쯔 *후지쯔연구소
  • 전자정보통신학회기술연구보고. SDM, 실리콘재료・디바이스 94(11), 39-46, 1994-04-21

10. 실리콘웨이퍼 표면의 흡착성분-승온이탈법에 의한 분석

  • 야부모토 슈호
  • NTT LSI연
  • 출전불명

발표년도 불명:학회요지

1.착색 하이드로키시 아파타이트의 캐릭터리제션

  • 이시가와 쯔요시
  • 아사히공업(주) 뉴세라믹사업부
  • 아파타이트 연구회

2.Recovery of Useful Hydrocarbons from Oil Palm Waste Using ZrO2 Supporting FeOOH Catalyst

  • Takao MASUDA, Yumi KONDO, Masahiro MIWA, Shin R. MUKAI, Kenji HASHIMOTO and *Mikio TAKANO
  • Division of Chemical Engineering, Graduate School of Engineering, Kyoto University and *Institute for Chemical Research, Kyoto University
  • Book of Abstracts, 16th International Symposium on Chemical Reaction Engineering

3.SiO2홀 내에서 에칭표면반응

  • 히라시타 노리오, 이케가미 나오카즈
  • 오키전기공업(주) 초LSI연구개발센터
  • 제44회반도체전문강습회예습집,139
  • 제품에 대한 상담, 질문이 있으시면 부담없이 문의해 주십시요
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