Menu

TDS1200Ⅱ

TDS1200Ⅱ의 유지보수

베이킹

단열재킷 설치

  • 질량 분석계(QMS)의 SEM 및 필라멘트를 소프트웨어로 OFF합니다.
  • 터치 패널에서 QMS의 전원을 OFF합니다.
  • QMS 컨트롤러에 연결된 전원 케이블과 통신 케이블을 분리합니다.
  • 육각렌치를 사용하여 장착 나사를 풀고 QMS 컨트롤러를 분리합니다.
  • 온도 센서의 설치 상태를 확인합니다.
  • 각 뷰잉 포트에 보호 커버를 설치합니다.
  • 상단 열전대 도입 단자 커넥터를 분리합니다.
  • 단열재킷을 설치합니다.

tds1200baking01

단열재킷에는 메인 챔버부와 샘플 이송 기구부 2개가 있습니다.
메인 챔버부의 단열재킷은, 장치 전측으로부터 덮히도록 장착해, 뒤측과 상부의 매직 테이프로 고정합니다.
뒤쪽에는 메인 챔버 진공계 센서(IG)나 터보 분자 펌프가 배치되어 있어 허용공차가 적기 때문에 조심스럽게 장착해 주십시오.

베이킹 설정

  • 베이킹 시간 또는 종료 날짜와 시간을 터치 패널에서 설정합니다.

    touchpanel04
  • 시작 버튼을 눌러 시작합니다.
  • 이상의 조작으로 베이킹이 시작되어 설정 온도까지 가열됩니다.
  • 설정시간 또는 설정일시에 도달하면 히터로의 출력이 차단됩니다.

베이킹 후 처리

  • 실내 온도에 가깝게 온도가 떨어질 때까지 기다립니다.
  • 단열재킷을 제거하고 QMS 컨트롤러를 장착하고 연결하고 각 부분을 원래대로 되돌립니다.

로터리펌프 (RP) 오일 교환 절차

로터리 펌프의 오일 교환은 1년마다 교환을 권장합니다.

  • 설명서에 따라 장치를 정지합니다.
  • RP 본체가 식었는지 확인합니다.
  • 퀵 클램프, 금속 커넥터를 분리합니다.
  • 오일 주입구를 엽니다.
  • 오일을 넘치지 않도록 오일 드레인을 처리하고 드레인을 엽니오일이 한꺼번에 나오므로 주의하십시오.
  • 오일이 빠지면 오일 드레인을 닫습니다.
  • 오일 주입구에 규정량의 오일을 넣습니다.
  • 오일 주입구를 닫고 역순으로 조립합니다.

주의사항

  • 사용한 오일에는 독성이 높은 물질이 혼합되어 있을 가능성이 있으므로 교환 시에는 보호 안경·내유 내약품의 장갑을 착용해 주십시오.
  • RP를 내릴 때 오일이 주변에 흩어지지 않도록 바닥에 보호 시트를 깔아놓으십시오.
  • RP 정지 직후에는 오일이 뜨거워져 화상을 입을 수 있습니다.
  • 오일 폐기는 적절히 처분해 주십시요.
  • 당사 지급 오일 또는 제조사 순정 오일 이외에는 절대로 사용하지 마십시오.
  • 중량물이므로 낙하에 주의하여 작업해 주십시오.
  • 교체에 익숙한 사람이 교체 작업을 해 주십시요.
  • 제품에 대한 상담, 질문이 있으시면 부담없이 문의해 주십시요
  • 문의

Copyright© ESCO전자과학주식회사All Rights Reserved. login