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TDS1200・WA1000S/W

TDS1200및EMD-WA1000S/W의 유지보수

베이킹

단열 재킷 설치

  • 질량 분석계(QMS)의 SEM 및 필라멘트를 소프트웨어로 OFF합니다.
  • QMS의 Power 스위치를 눌러 QMS의 전원을 OFF로 합니다
  • QMS 컨트롤러에 연결된 전원 케이블과 통신 케이블을 분리합니다.
  • 육각 렌치를 사용하여 장착나사를 풀고 QMS 컨트롤러를 분리합니다.
  • 온도 센서의 설치 상태를 확인합니다.
  • 각 뷰잉 포트에 보호 커버를 설치합니다.
  • 상단 열전대 도입 단자 커넥터를 분리합니다.
  • 단열 재킷을 설치합니다.

 

단열재킷은 메인 챔버부와 샘플 이송 기구부 2개가 있습니다.

메인 챔버부의 단열재킷은, 장치 전측으로부터 덮히도해 장착하고, 뒤측과 상부의 매직 테이프로 고정합니다. 뒤쪽에는 진공계나 터보 분자 펌프가 배치되어 있어 허용공차가  작기때문에 신중하게 장착해 주십시요

베이킹 컨트롤러 설정

  • 베이킹 시간을 베이킹 타이머로 설정합니다.
  • 베이킹 컨트롤러 전원 차단기를 ON합니다.
  • 리셋 시작 스위치를 누릅니다.

 

리셋 시작 스위치를 누르면 램프가 켜지고 베이킹 온도 조절기와 베이킹 타이머에 전원이 공급되고 과열 표시등이 재설정됩니다.

이상의 조작으로 베이킹이 개시되어 온도 조절기의 설정 온도까지 가열됩니다.
타이머 설정 시간에 도달하면 히터로의 출력이 차단됩니다.

베이킹용 온도 조절기의 조작

  • 도표시 전환 키를 눌러 메인 챔버의 현재 온도와 설정 온도의 표시를 전환합니다.
  • 설정온도를 표시 상태로 설정 키(업)(다운)를 눌러 설정을 변경합니다.
  • 온도표시 전환 키로 설정을 확정하고 현재 온도를 표시합니다

베이킹 후 처리

  • 실온 가까이까지 온도가 떨어질 때까지 기다렸다가 베이킹 컨트롤러 전원 차단기를 OFF합니다
  • 단열재킷을 제거하고 QMS 컨트롤러를 장착하고 연결하고 각 부분을 원위치로 되돌립니다.

로터리펌프 오일 교환 절차

  • 설명서에 따라 장치를 정지합니다.
  • 로터리펌프(RP) 본체가 식었는지 확인합니다.
  • RP 고정용(4개소) 너트, 퀵 클램프, 금속 커넥터, 온도휴즈를 제거하고 RP를 하우징에서 내립니다.
  • 오일 주입구를 엽니다.
  • 오일을 넘치지 않도록 오일 드레인을 처리하고 드레인을 엽니다. 오일이 한꺼번에 나오므로 주의하십시오.
  • 오일이 완전히 빠지면 오일 드레인을 닫습니다.
  • 오일 주입구에서 규정량의 오일을 넣습니다.
  • 오일 주입구를 닫고 역순으로 RP를 하우징에 조립합니다.

주의사항

  • 사용한 오일에는 독성이 높은 물질이 혼합되어 있을 가능성이 있으므로 교환 시에는 보호 안경·내유 내약품의 장갑을 착용해 주십시오.
  • RP를 내릴 때 오일이 주변에 흩어지지 않도록 바닥에 보호 시트를 깔아놓으십시오.
  • RP 사용 직후에는 오일이 뜨거워져 화상을 입을 수 있습니다.
  • 오일 폐기는 적절한 처분을 실시하십시오.
  • 당사 지급 오일 또는 제조사 순정 오일 이외에는 절대로 사용하지 마십시오.
  • 중량물이므로 낙하에 주의하여 작업을 하십시오.
  • 교체에 익숙한 사람이 교체 작업을 수행하십시오.
  • 제품에 대한 상담, 질문이 있으시면 부담없이 문의해 주십시요
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