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장치를 오염시키는 샘플

장치를 오염시키는 샘플

승화하기 쉬운 금속(증기압이 높은 금속)을 포함하는 샘플

금속을 다량으로 승화시키면 QMS 분석관이나 진공계, 뷰포트에 증착하여 성능 열화나 고장의 우려가 있습니다.

 

또, 챔버 내벽이나 부품에도 증착하므로, 챔버 표면의 청정도가 저하되어 탈가스가 많아집니다.

이 경우 챔버 내부 벽을 청소하거나 부품 교체가 필요합니다.

증기압이 높은 Zn이나 Mg는 저온에서 승화하므로 특히 주의가 필요합니다.

 

증기압이 높은 금속의 예(Zn, Mg, Pb, In, Mn, Ga, Ag, Sn, Al, Cu 등)

할로겐을 포함한 샘플

할로겐(특히 불소)을 포함한 성분이 이탈하면, 할로겐이 메인 챔버내나 검출기 내에 체류해 버립니다.

유기 화합물을 포함하는 샘플

다량의 유기화합물을 분해온도 이상으로 가열하면 열분해를 일으켜 분해성분이 비산하여 메인 챔버내나 검출기를 오염시킵니다.

메인 챔버의 베이킹, 청소, 부품 교체가 필요합니다.

다량의 가스를 방출하는 샘플

장치를 오염시키지 않는 성분이라도 터보분자 펌프나 QMS의 허용 압력을 초과하는 양의 가스를 방출하는 샘플의 측정은 터보분자 펌프나 QMS의 고장의 원인이 됩니다.

 

 

오염의 가능성이 있는 시료를 측정하는 경우 사전 측정을 수행하는 것이 좋습니다.

・승온 속도를 늦춘다. (매분 10℃ 정도)
・Bar 모드나 Scan 모드로 한다.

・시료량을 최대한 적게 한다.

・상기와 같은 성분이 검출된 경우 그 이상으로 온도를 올리지 않는다.

 

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