オーバーホール - ESCO | 電子科学株式会社

オーバーホール

装置を導入いただいたユーザー様に対して、メンテナンスやオーバーホールのご用命を承ります。
下記項目をご参照ください。

No.001　事前検査

実施時期	毎年
標準作業時間	4.0H
使用・交換部品	チェック用サンプル一式
備考	装置の現状チェックを行います。

No.002　赤外線ランプ交換

実施時期	毎年
標準作業時間	0.5H
使用・交換部品	赤外線ランプ［1］
備考	装置仕様により使用部品が異なります。

No.003　フォアライントラップエレメント交換

実施時期	毎年
標準作業時間	0.5H
使用・交換部品	エレメント：20-H026-00-050［1缶］
備考	装置仕様により使用部品が異なります。

No.004　ロータリーポンプオイル交換

実施時期	6ヶ月毎
標準作業時間	2.0H
使用・交換部品	ロータリーポンプオイル
備考	装置仕様・メーカーにより使用部品が異なります。

No.005　加熱試料台交換

実施時期	毎年
標準作業時間	2.0H
使用・交換部品	石英ステージ、熱電対、ICFガスケット
備考	装置仕様により使用部品が異なります。

No.006　加熱チャンバー内の清掃

実施時期	毎年
標準作業時間	0.5H
使用・交換部品	ICFガスケット

No.007　ロードロックチャンバー内の清掃

実施時期	2年毎
標準作業時間	3.0H
使用・交換部品	ICFガスケット

No.008　試料移載機構板バネ交換

実施時期	2年毎
標準作業時間	1.0H
使用・交換部品	板バネ、ガスケット

No.009　赤外導入機構部研磨

実施時期	2年毎(機構部汚染状況による)
標準作業時間	1.0H
使用・交換部品	ガスケット

No.010　TMP（2）ベアリング交換

実施時期	3年毎
標準作業時間	3.0H
使用・交換部品	ベアリング、ガスケット
備考	装置仕様により使用部品が異なります。

No.011　オイルミストフィルタ交換

実施時期	4年毎(汚染状況による)
標準作業時間	0.5H
使用・交換部品	フィルタ

No.012　ゲートバルブ交換

実施時期	4年毎
標準作業時間	4.0H
使用・交換部品	ゲートバルブ、ガスケット
備考	装置使用頻度に依存します。

No.013　ロータリーポンプ交換

実施時期	5年毎
標準作業時間	2.0H
使用・交換部品	ロータリーポンプ、防振ゴム

No.014　QMS分解能・質量軸調整

実施時期	毎年
標準作業時間	2.0H
使用・交換部品	調整用標準ガス

No.015　QMSイオン源交換

実施時期	2年毎(汚染状況による)
標準作業時間	2.0H
使用・交換部品	イオン源、ガスケット

No.016　真空立ち上げ・ベーキングセット

実施時期	毎年
標準作業時間	2.0H

No.017　オーバーホール後の性能確認

実施時期	毎年
標準作業時間	5.0H
使用・交換部品	チェック用サンプル一式
備考	メンテナンスをする際は、必ず実施します。

No.018　QMS検量線用測定

実施時期	毎月
標準作業時間	1.0H
使用・交換部品	イオン注入ウェハー
備考	ベーキング1日以上実施後に行います。

No.019　QMS特性補正用測定

実施時期	毎年
標準作業時間	3.0H
使用・交換部品	イオン注入ウェハー(各種)
備考	ベーキング1日以上実施後に行います。