赤外線加熱型TDS
赤外線加熱型昇温脱離分析装置TDS1200Ⅱは、超高真空中で試料をプログラム昇温した際に脱離する分子を質量分析計でリアルタイム観測する分析装置です。
高周波加熱型TDS
高周波加熱型昇温脱離分析装置IH-TDS1700は、超高真空中で試料を電磁誘導加熱した際に脱離する分子を質量分析計でリアルタイム観測する分析装置です。
光励起脱離分析装置PSD
光励起脱離分析装置(PSD)は、真空紫外線(120～400 nm) を試料に照射し、その最表面から脱離してくる分子を質量分析計で観測する分析装置です。
装置受託開発
電子科学では、昇温脱離分析装置以外にもご依頼頂いた分析装置を形にする仕事を行っております。機密扱いが多く、紹介出来るものが限られますので公開可能な装置を紹介しております。
