【受賞概要】
学会・大会名:第90回半導体・集積回路技術シンポジウム
主催:公益社団法人電気化学会 半導体・集積回路技術委員会
賞名:優秀発表賞
受賞者:電子科学株式会社 応用研究室 青木 夏美
発表題目:バンドギャップモニタリングシステムを用いた昇温脱離分析による水素注入SiO2/Si構造からの脱離水の分析
【関連リンク】
第90回半導体・集積回路技術シンポジウム 優秀発表賞 受賞者一覧:https://semicon.electrochem.jp/page/ss-awards